ONEJOON Retortenofen

Diskontinuierliche Ofentechnik für die Gasphasenabscheidung (CVD)

in nicht-metallische Pulver sowie das Reduzieren von metallischen Pulvern

Der ONEJOON Retortenofen ist die ideale Lösung für Prozesse mit anspruchsvollen Atmosphären wie z.B. Silane (SiH4), Wasserstoff (H2), gasförmigen Magnesium (Mg), Vakuum und vielen weiteren.

Eine typische Anwendung des Retortenofens ist die Gasphasenabscheidung (Chemical Vapor Deposition) in nicht-metallische Pulver sowie die Sauerstoff-Reduktion von metallischen Pulvern um eine hochreine Metallqualität zu erhalten.

Der Retortenofen ermöglicht mit seiner einzigartigen Prozessgasumwälzung, bestehend aus hoher Prozessgasgeschwindigkeit und optimaler Prozessgasführung direkt über das Produkt, eine homogene Durchströmung des gesamten Produktaufbaus, was wiederum für eine ausgezeichnete Atmosphären- und Temperaturhomogenität sorgt. Aufgrund der hohen Prozessgasumwälzung sind sehr kurze Aufheiz- und Abkühlraten, ohne Abstriche bei Atmosphären- und Temperaturhomogenität, möglich.

Um zusätzlich Prozessgas zu sparen und die Zykluszeit zu minimieren wird der Prozessgasaustausch über das Vakuumieren des Prozessraums und anschließender Eindüsung des Prozessgas realisiert.

Da es sich beim Retortenofen um einen diskontinuierlichen Ofen handelt, ist der Platzbedarf gering und das Layout kompakt.

Prozesse des Retortenofens

Mit ONEJOON Retortenöfen lassen sich unterschiedliche Prozesse abbilden.

Hierzu zählen z. B.:

• Gasphasenabscheidung (Chemical Vapor Deposition)
• Reduktion von Sauerstoff
• Entbindern und Vorsintern
• spezielle Prozesse

Der Retortenofen im Detail

So funktioniert der Retortenofen

Das mit den herzustellenden Produkten bestückte Chargier-Gestell wird mit einem Gabelstapler bzw. Hubwagen in die Innenmuffel des Retortenofens platziert. Die Ofentür wird manuell geschlossen und über hydraulischen Zylinder vakuumdicht verriegelt.

Der Prozesszyklus starte mit dem Vakuumieren des Prozessraums und anschließendem Spülen mit Prozessgas. Das Vakuumieren reduziert den Prozessgasverbrauch und ermöglicht einen schnelleren Atmosphärenwechsel.

Beim Aufheizprozess wird die Außenwand der vakuumdichten Retorte (Außenmuffel) durch die Heizelemente erwärmt. In der Retorte sorgt der integrierte Heißgasventilator für eine Atmosphärenströmung an der Retorteninnenwand entlang, in die Innenmuffel hinein, über Leitbleche durch das Chargier-Gestell direkt zum Produkt und wieder zurück zum Heißgasventilator. Das Prozessgas wird somit im Kreis gefahren. Es wird an der Retorteninnenwand erwärmt und gibt diese Wärme im Chargier-Gestell wieder an das Produkt ab. Aufgrund der hohen Umwälzgeschwindkeit des Prozessgases wird eine ausgezeichnete Atmosphären- und Temperaturhomogenität erreicht.

Auch nach dem Erreichen der Zieltemperatur kann der Heißgasventilator weiter betrieben werden um für eine Atmosphärenumwälzung während des Prozesses zu sorgen. Der Heißgasventilator ist wassergekühlt und hält Prozessraumtemperaturen bis 1000 °C aus.

Für die Kühlung wird eine separater leistungsstarker Kühlventilator gestartet. Dieser kühlt die Retortenaußenwand herunter, während das Prozessgas aufgrund der Umwälzung die Wärme an die Retorteninnwand abgibt. Durch diese indirekte Kühlung kurze Abkühlzeit realisiert werden, welche die gesamte Zykluszeit reduziert.

Nach dem Kühlen wird der Prozessraum wieder vakuumieren und anschließend mit Stickstoff oder Luft gespült, damit anschließend die Ofentür wieder manuell geöffnet werden kann.

Das Chargier-Gestell mit dem fertig behandelten Produkt kann direkt entladen und ein zweites Chargier-Gestell unbehandelten Produkt beladen werden. Somit wird wertvolle Produktionszeit gespart und der Retortenofen kann direkt einen neuen Zyklus starten.

Unsere Leistungen

Beratung, Service, Ofenbau und vieles mehr.
Weil jeder Kunde spezielle Anforderungen hat.

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